应用纳米压入仪（NHT）测量集成电路中金质连线的性质

应用纳米压入仪（NHT）测量集成电路中金质连线的性质展示了纳米压痕仪在微电子领域的应用

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瑞士CSM仪器公司三十年来致力于为材料物理机械工作者提供先进极ng准全面的材料机械性质测试仪器分析咨询以及测试服务我们的主要产品包括：
测量材料硬度和弹性模量的纳米级微米级仪器化压入测试仪（NanoIndentation, MicroIndentation）；
界定膜基结合强度薄膜抗划擦能力的纳米级微米级大载荷划痕测试仪 (Scratch tester) ；
包括真空高温以及线性往复运动等选项的摩擦磨损测试仪纳米摩擦仪 (Tribometer) ；
Z简便易用的膜厚测试仪；
用于三维成像表征材料表面形貌的原子力显微镜 (AFM) 和共焦显微镜 (Confocal Microscope)
我们的开放式全自动测试平台可以让您任意组合不同测试模块，并支持多试样全自动化测量 纳米压痕仪