高级朗缪尔探针（Langmuir Probe）在等离子体诊断中的应用

ESPion高级Langmuir探针（Advanced Langmuir Probes for Electrical Plasma Characterisation）可快速可靠极ng确地进行等离子体诊断，是Zxian极n可靠的 Langmuir 探针
应用：

· 蚀刻/沉积/ 清洁等离子体
· 脉冲等离子体操作
· 离子密度 (Ni & Gi)
· 电子温度(Te & EEDF)
· 电子密度(Ne)
· 等离子体电位
· Debye 长度,悬浮电位

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