束蕴仪器(上海)有限公司
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DDCOM X射线单晶定向仪

产品介绍:

技术特点

确定单晶的完全晶格取向

使用Omega扫描方法的超高速晶体定位测量

立方晶体任意未知取向的测定

特别设计用于点阵方向的方位设置和标记

气冷式x射线管,无需水冷

适合于研究和生产质量控制

X射线单晶定向仪


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所有想要的晶体方向参数在5秒内一次旋转中被捕获


可测量材料的例子

Ø 立方/任意未知方向:Si, Ge, GaAs, GaP, InP

Ø 立方/特殊取向:Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl2O4, SrTiO3, LaTiO3

Ø 正方:MgF2, TiO2, SrLaAlO4

Ø 六方/三角:SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO3, SiO2(石英),Al2O3(蓝宝石),GaPO4, La3Ga5SiO14

Ø 斜方晶系:Mg2SiO4 NdGaO3

Ø 可根据客户的要求进一步选料

X射线单晶定向仪


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DDCOM的应用

平面方向的标记和测量

在晶圆片的注入和光刻过程中,需要平面或凹槽作为定位标记。切割过程中,晶片必须正确地对准晶圆片上易于切割的晶格面。因此,检查平面或缺口的位置至关重要。

为了确定平面或缺口的位置,就需要测量平面内的部件。由于Omega扫描法可以在一次测量中确定完整的晶体方位,基于此,便可以直接识别在平面方向或检查方向的单位或缺口。

DDCOM通过旋转转盘,可以将任何平面方向转换成用户指定的特定位置。在必须定义平面方向的情况下,这可以极大简化将标记应用到特定平面方向的过程。




仪器分类: 单晶
确定单晶的完全晶格取向,使用Omega扫描方法的超高速晶体定位,测量立方晶体任意未知取向的测定,特别设计用于点阵方向的方位设置和标记。气冷式x射线管,无需水冷,
适合于研究和生产质量控制。 X射线单晶定向仪
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