江西连胜科技有限公司
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江西连胜扫描电镜专用主动减震VCM-D600H

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---VCM系列主动隔振系统

一、产品介绍: 

VCM主动隔振系统隔振条的方式作为基本的支撑;同时配以传感器、控制电路和作动器,共同组成精密主动控制隔振系统。对于微小振动,则由传感器采集平台六个自由度的振动信号输入控制器,由其作出迅速有效的信号处理,以控制作动器,使其提供与平台残余振动大小相等、方向相反的力。

 

    VCM型主动隔振系统由条状模块组成,每个模块隔离水平和垂直方向的振动,两个模块的组合可以隔离6个自由度的振动,每套设备至少需要2个模块和一个控制箱。为了获得zuiyou的隔振性能,模块应放置硬质的支撑面上,例:隔振平台面、大理石平台面等,由此达到**隔振效果。

 

 

 

 

 

2、应用领域:钨灯丝电镜、原子力显微镜、激光共聚焦显微镜、扫描探针显微镜等其它高精度仪器。

 

 

 

 

 

3、产品特点:该产品结构紧凑、体积小,拆卸方便,使用简捷,隔振效率高,无共振频率,亦可多条模块组合。根据产品结构不同,产品分为VCM-S型和VCM-D型。

 

 

4、基本原理:VCM型主动隔振模块基于压电拾振器采集振动信号,信号经过快速处理,控制音圈作动器运动,对振动干扰进行补偿。 

系统在1HZ之前开始隔振,随着频率的增加振动迅速衰减,在10HZ的时候可以达到35Db的衰减,提供了很好的隔振性能。

 

五、普通环境测试图:

传递率曲线:

 

 

 

主动隔振开启前:

 

   

开启后:(若是实验室环境,会达到0.001mm/s左右)

 

    

六、性能指标:

 

隔振频率:

主动:1---200Hz被动:>200Hz

隔振方向:

六个自由度力的补偿,负荷调节功能。

隔振性能:

>5Hz  =90%,  >10Hz = 97%

负载能力:

根据平台的不同尺寸而定。

响应时间

≤300ms

重量:

50kg

供电:

220V,50W

工作温度:

5---40摄氏度

置于环境

平面度0.5mm的硬质平面上

定制

600*500mm---800*1000cm

组合

模块可以多条组合成更大的尺寸

      

七、主动隔振控制系统型号说明

 

VCM         

载重说明

尺寸说明

模块数量区分

型号

详细说明

VCM:型号--------振动控制模块

    模块数量区分:S 代表单条模块 D 代表双条模块 T 代表三条模块

    尺寸说明:主要说明长度大小,分别为长度 400mm 和 600mm

 例如:

       VCM-S400:代表单条长度 400mm 主动隔振控制系统

       VCM-D400:代表双条长度 400mm 主动隔振控制系统

       VCM-D600:代表双条长度 600mm 主动隔振控制系统

       VCM-D600H:代表重载双条长度 600mm 主动隔振系统

 重载说明:重载以 H 代表,如果不加 H 则代表标准模块,

  单条重载模块承载量为 260kg;单条标准模块承载为 150kg;400

          与 600 载重相同。

  

型号

S400

400

120

110

S600

600

120

110

D400

400

245

110

D600

600

245

110

   


产品简介:国产主动隔振产品VCM系列,专注低频减震。

应用领域:光学,材料学,生命科学,半导体,微纳米等等

配套设备:扫描电镜(SEM/EDS),透射电镜(TEM),扫描探针显微镜,激光干涉仪,光栅刻线机,光管测量仪,百万倍天平,精密位移台等超高精密仪器。

减震效果:从0.7HZ开始,2HZ时达到-20db,10HZ时达到-40db。

隔振带宽:0.7HZ-200HZ。

售后服务:24小时内到达。性价比极高,售后服务快速周到。

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