赛默飞世尔半导体表征系统 Pegasus ESD 测试系统-赛默飞电子显微镜

详细信息

产品介绍：

Thermo Scientific Pegasus ESD 测试系统是一种低寄生 2 销测试仪，用于表征晶片、裸片或封装级的保护结构。Pegasus 还可用作器件鉴定程序的一部分，为使用自动（基于继电器）高销计数 ESD 测试系统时收集的结果提供补充数据。测试可用于人体模型 (HBM)、机器模型 (MM) 波形的先进行业标准，并提供真正的系统级 (150pF/330Ω) 基于 EOS/ESD 协会人体金属模型 (HMM) 的 IEC 样波形。系统的脉冲源设计和脉冲源输送方法确保了直接针对被测器件的波形保真度，而不仅仅是发生器输出端的波形保真度。每次 ESD 事件都可以自动采集和分析电流波形。此外，可采集电压波形并用于确定保护结构的开启水平。它们也可用作确定故障的方法，因为电压波形通常会在 ESD 事件后显示变化。

主要特点

EDS 符合性测试

完全符合人体模型 (HBM) 和机器模型 (MM) 测试的先进行业标准。

系统级 ESD

真正的系统级 ESD 150pF/330Ω 网络（非 50Ω 模拟器），可满足拟定的人体金属模型 (HMM) 的要求。

晶片探针

2 销连接，通过晶片探针连接至封装、裸片或晶片中的任何器件。

故障分析

击穿前和击穿后的曲线追踪测量可用于比较性故障分析。

示波器接口

具有自动内部衰减功能的示波器接口（GPIB、USB 或 TCP/IP）

存储

存储使用先进的行业标准进行自动分析的所有波形。

ESD 波形发生器

硅片盒（ESD 波形发生器）可轻松安装在探测站上。

电源控制

用于击穿前和击穿后 Idd 测量的偏压电源控制。

规格

波形	HMM - 拟定 ESDA HMM；HBM - JEDEC/ESDA JS-001、MIL-STD 883 和 AEC Q100-002；MM - ESDA STM5.2、JEDEC JESD22-A115 和 AEC Q100-003
ZAP 电压	对于 HMM 和 HBM，± 15 V 至 12 kV；对于 MM，± 50 V 至 2 kV
ZAP 电压分辨率	1 V
ZAP 电压精度	设定点 ± 5 V 源性能 ZAP 的 1%
ZAP 计数/间隔范围	1 至 9999 个/0.3 至 10 秒间隔
曲线追踪	电压：0 至 200 V（关于更高电压，请咨询厂商）分辨率： 10 mV 电压范围： 200 mV、2 V、20 V、200 V 电流： 0 至 1 A 分辨率： 100 nA 电流范围： 1 μA、10 μA、100 μA、1 mA、10 mA、100 mA、1A 精度为范围的 0.5% 输出： 22 W：21 V（1 A 时）至 210 V（0.1 A 时）电阻检测： 1 ohm 至 200 M ohm 测量点： 10 至 250
合格/不合格标准	相对值和绝对值
主控制器尺寸	43.2 cm (17 in) W x 43.2 cm (17 in) D x 13.2 cm (5.2 in) H
低真空模式	16.4 cm (6 in) W x 12.7 cm (5 in) D x 8.9 cm (3.5 in) H
重量	控制器：8.4 Kg (18.5 lbs) 硅片盒：1.4 Kg (3 lbs)
主控制器电源	100 至 240 VAC，2 Amp，50/60 Hz
温度范围	操作温度：+15°C 至 +40°C（+59°F 至 +104°F）非操作温度：4°C 至 +60°C（+40°F 至 +140°F）湿度范围：30%-60%，无凝结
电源要求	系统：100-240 VAC，2 A，50/60 Hz 计算机和监视器：100-240 VAC，6.5 A，50/60 Hz

产品优势

用于半导体晶片测试的静电放电两销测试系统。

技术资料

0Pegasus-0116-Rev1

赛默飞世尔 半导体表征系统 Pegasus ESD 测试系统

赛默飞世尔半导体表征系统 Pegasus ESD 测试系统