半导体探索和开发
先进的电子显微镜、聚焦离子束和相关半导体分析技术可用于识别制造高性能半导体器件的可行解决方案和设计方法。
产品介绍：
Thermo Scientific Meridian S 系统设计用于通过探针卡或微探针对静态偏置刺激的器件进行反向光子发射 (EMMI) 和激光扫描显微镜分析。系统的总体拥有成本是盈利能力的一个关键方面，Meridian S 系统提供一系列光子发射选项、双面探测灵活性和动态光学故障隔离能力的升级途径，例如激光电压成像/探测和软缺陷定位。
Meridian S 系统设计用于全 球范围内的电气故障分析实验室，有助于：
识别系统过程、设计或集成问题
随机电气故障的根本原因隔离
Meridian S 系统的主要特点
使用有源探头技术的故障诊断
通过有源探头技术进行的故障诊断实现高灵敏度、锁相能力、消噪静态激光刺激/光束感应电阻变化 (SLS/OBIRCH) 检测。
光子发射
Meridian S系统的光子发射选项涵盖了隔离短路、检测过量漏电区域和映射有源区域的灵敏度要求范围。
易于使用
针对光学故障的探测设置和软件，旨在提高其易用性和生产率。
可扩展且可升级
Meridian S系统拥有完全可扩展和可升级的光学平台。
Meridian S系统的规格
倒置光学系统 |
组合系统：LSM + PEM 标准，可选仅 LSM 或仅 PEM 配置 |
220 VAC，50 Hz/60 Hz |
标准 9” x 9” 负载板接口，以及可定制的替代产品 |
提供双面微探测和探针卡配置 |
载物台重复精度 ≤ 2 μm |
用于缺陷再检测的可选激光打标机 |
Meridian S系统的相关应用
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半导体故障分析
越来越复杂的半导体器件结构导致更多隐藏故障引起的缺陷的位置。我们的新一代半导体分析工作流程可帮助您定位和表征影响量产、性能和可靠性的细微的电子问题。
赛默飞电子显微镜
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