赛默飞电子显微镜
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赛默飞世尔 Verios 5 XHR SEM超高分辨扫描电镜

产品介绍：

Verios 5 XHR SEM扫描电镜

Verios 5 XHR SEM扫描电镜采用出色的材料对比度在全 1 keV-30 keV 能量范围内提供亚纳米级分辨率。前所未有的自动化和易用性使任何经验水平的用户都能使用该性能。

体验 Verios XHR SEM扫描电镜所提供的优势：

  • 使用行业最 先进的电子源单色器UC+实现高分辨率纳米材料成像，可在 1-30 kV 范围内实现亚纳米性能。

  • 对电子束敏感材料性能出色，具有 20 eV 着陆能量和高灵敏度电子镜筒内和透镜下检测器以及信号过滤，可实现在低剂量条件下获取超高分辨率和高信噪比图像。

  • 凭借采用 SmartAlign 和 FLASH 技术的 Elstar 电子束镜筒，可大大缩短各种经验水平的用户获得纳米级信息的时间。

  • 借助 ConstantPower 透镜、静电扫描和两种高精度压电陶瓷载物台的选择，获得一致的测量结果。

  • 配备大腔室，配件的灵活性高。

  • 使用 Thermo Scientific AutoScript 4 软件（可选配的基于 Python 的应用程序编程界面）实现仪器无人自动化 SEM 操作。


Verios 5 XHR SEM扫描电镜的主要特点

SmartAlign 技术

使用 SmartAlign 技术时，用户无需对电子束镜筒进行任何对中，这不仅能最 大限度地减少维护，还能提高电镜生产率。

创新的电子光学系统

包括 Thermo Scientific 获得专 利的 UC+（单色器）电子枪、ConstantPower 透镜和静电扫描，可实现准确稳定的成像。

亚纳米级分辨率

Elstar Schottky 电子源单色器（UC+）FESEM 技术和性能，实现从 1 至 30 keV 的亚纳米级分辨率。

一致的测量结果

Verios 扫描电镜非常适合实验室计量应用，能够在高放大倍数下校准经 NIST 认证的标准品。

低剂量操作和最 佳对比度选择

结合了先进的高灵敏度、镜筒内 & 透镜下探测器和信号过滤功能 可实现低剂量操作和最 佳衬度选择。

轻松访问射束着陆能量

低至 20 eV 也可实现用于真正的表面表征的极高分辨率。

无人照看的 SEM 运行

借助 AutoScript 4 软件，可选配基于 Python 的应用程序编程界面 (API)。

大腔室

可从两种高精确稳定的压电陶瓷驱动样品台中进行选择。


规格

电子束分辨率

  • 在 30 kV STEM 下 0.6 nm（可选）

  • 在 2-15 kV 下 0.6 nm

  • 1 kV 时 0.7 nm

  • 在 500 V 下 1.0 nm

标准检测器

ETD、TLD、MD、ICD、射束电流测量、Nav-Cam+、IR 摄像机

可选检测器

可选检测器 | EDS、EBSD、RGB 阴极发光、拉曼、WDS 等

载物台偏倚（光束减速、可选）

标准配置包括高达 -4000 V

样品清洁

标配配置包括集成式等离子清洗装置

样品操纵

Verios 5 UC

  • 5-轴电动共心载物台，配有 XYR 轴压电驱动。

  • XY 范围 150 x 150 mm2，70° 倾斜范围。

  • 通过门加载。

Verios 5 HP

  • 已安装腔室，超稳定 5 轴所有压电驱动载物台。

  • XY 范围 100 x 100 mm2，70° 倾斜范围。

  • 通过自动负载锁加载。

 

腔室

379 mm 内径、21 个端口

软件选项

  • 使用划分和拼接进行自动大面积采集的 Thermo Scientific Maps 软件；相关工作

  • Thermo Scientific AutoScript 4 软件；基于 Python 的应用程序编程界面

  • 图案生成软件

  • TopoMaps 用于图像彩色化、图像分析和 3D 表面重建


利用亚纳米分辨率和高材料对比度进行纳米材料表征和分析。
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