科幂仪器 单温区PE-CVD系统

产品特点
1.高性能射频电源.等离子体更稳定；
2.滑轨式结构能使整个反应腔室都处于辉光产生区；
3.可实现快速升温和降温功能；与传统CVD相比较，生长温度更低。