等离子体磁控溅射仪(可溅射非金属)石英仓尺寸：150X120MM溅射面积：50mmzui高真空度：5pa可通气体：氩气，氮气等惰性气体zui高溅射速度：8nm/min射频功率可调：1-500W匹配器类型：自动匹配器
产品参数
品牌 SETCAS LLC
系列 SC-SU-II
品名 射频磁控溅射仪
腔室 150X120MM
靶材 50mm各种金属及非金属靶材
射频 13.56MHz
射频磁控溅射，支持非金属靶材
射频功率：1-500W，射频频率：13.56MHz，自动匹配
可通各种惰性气体，极高本底真空
氮气，氩气等，进气量可调
直径50mm厚度1-2mm金属靶材
方便更换靶材，配方默认保存方便下次操作
美国团队设计，中国生产组装
品质保证，全 球服务网络，中国北京，香港，美国圣 地亚哥售后
北京赛德凯斯电子有限责任公司
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