普泰克(上海)制冷设备技术有限公司
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晶圆级探针台温控设备


全密闭系统:采用全密闭式系统设计,整个循环管路只有加液盖上留出的呼吸孔,导热油不会直接与空气接触,延长了导热油使用寿命同时确保系统运行的稳定性,膨胀油箱始终保持在常温状态,高温时无油雾产生。
控温系统:自主开发的温度控制模块,改变控制设定的方法,能够尽快的响应过程中系统的滞后,得到最小的温度过冲。控制由两组PID(每组PID是可变的)控制回路构成,这两组控制回路成为主回路和从回路,主回路的控制输出作为从回路的设定值。系统采用带有前馈PV,主控回路的PID运行结果的输出与前馈PV信号复合后作为主控回路的设定值,通过这样对温度变化进行梯度控制,保证系统的温度精度。
高效换热系统:系统采用管道式加热冷却,参与循环的液体非常少,制冷采用板式换热器,加热采用管道式法兰加热器,整个系统的容积(板式换热器容积+管道式加热器容积+循环泵内容积+循环管路容积)。
控制重复性:基于高级动态控制系统,每次都能实现一致的控制结果,大大提升产品生产的稳定性。
产品外观:外观设计吸取国外进口产品的设计理念,采用大口径石英玻璃液位计,液位计与操作屏放在同一侧,观察方便,风格简约时尚,比列协调,专有的色彩搭配。
超高温降温技术:采用超高温降温技术,可以满足在350℃高温直接通入冷却水实现快速降温。
质量保障


主要由加热循环系统、冷却系统、控制系统、箱体等组成。加热循环系统包括循环泵、电加热器、膨胀容器、排气阀、单向阀、热电阻、循环管道等组成。冷却系统包括油水换热器、油油换热器(部分设备)、冷却水电磁阀、高温电磁阀等组成。控制系统采用PID控制技术,高清触摸屏显示,设有多项保护功能,确保设备安全运行。通过机组自身的加热与冷却,向外界输送载热流体,满足工艺条件要求。

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