液冷制冷机

应用于晶圆测试的高低温冷热台（晶圆测试载物台）chuck的加热制冷控温，载冷剂采用硅油或氟化液循环精确控温，液冷制冷机主要由加热循环系统、冷却系统、控制系统、箱体等组成。控制系统采用PID控制技术，高清触摸屏显示，设有多项保护功能，确保设备安全运行。通过机组自身的加热与冷却，向外界输送载热流体，满足工艺条件。