普泰克(上海)制冷设备技术有限公司
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液冷制冷机


设备控温范围:-80℃~200℃
Chuck盘面控制温度:-60℃
温度稳定性:±0.1℃
制冷系统:采用双极压缩制冷系统
定制:可按要求定制-60℃液冷制冷机

型号液冷制冷机
设备名称PTHC系列低温液冷机
制冷方式双级复叠制冷
操作面板7英寸彩色触摸屏,中文显示,操作简便 、显示直观, 可显示 、记录 温度曲线和测试数据
载冷剂氟化液或硅油
全密闭系统管道材质:SUS304,采用全密闭式结构设计
介质温度范围-80℃ ~ 200℃
温度精度出口温度±0.5 ℃
温度稳定性± 0.1 ℃
温度反馈设备导热介质温度反馈PT100 (回口温度 、 出口温度) ,控晶圆测试chuck盘温度
控温对象设备导热介质出口温度 (可选择控制物料温度)
显示分辨率0.01K
通信协议MODBUS RTU协议、RS 485接口+以太网接口
外部输入外置测温传感器端口 、USB数据接口
存储功能试验执行时, 可实时显示图形曲线, 显示内容;温度设定实际值,执 行程序周期,程序执行中具有跳文件,保持功能。
冷凝方式风冷
安全防护设备运行状态实时显示,故障信息自动诊断, 多项报警保护: 电源故 障 ,压缩机过载 、循环泵热过载 、制冷低压报警 、 制冷高压报警 、超 温 、温度模块故障 、 电加热防干烧设计等保护功能。


应用于晶圆测试的高低温冷热台(晶圆测试载物台)chuck的加热制冷控温,载冷剂采用硅油或氟化液循环精确控温,液冷制冷机主要由加热循环系统、冷却系统、控制系统、箱体等组成。控制系统采用PID控制技术,高清触摸屏显示,设有多项保护功能,确保设备安全运行。通过机组自身的加热与冷却,向外界输送载热流体,满足工艺条件。

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