PTLQ系列气体制冷机用于气体的降温与冷却,也可选择进行升温与恒温控制。气体通常为干燥的压缩空气或氮气、金气等惰性气体。进气温度可以是常温的,也可以是高温的,经过气体制冷机降至目标低温。针对于晶圆测试载冷台的应用来说,气体制冷机相比较于传统的液冷有诸多优势,如使用方便、安全卫生、成本低无异味等。客户可根据气体处理流量及温度来选择设备,若样册无对应型号可联系本公司销售人员进行咨询。
典型应用领域
晶圆测试载冷台提供低温气体
芯片低温测试
激光设备局部区域降温
液晶触摸屏低温冷冻脱胶
材料性能测试
热沉实验温度控制
结晶系统控温
产品特点
1、-135°C~+225C,可以满足不同温度的需求,可非标定制;2、可选配精确控温形式,控温精度可达0.1C;
3、采用高效换热器,降温速度快,常温至-80°C最快只需5分钟;4、可选配冷量回收装置,提升能效,避免低温冷凝水;
5、允许非标控制程序定制;
6、可选配进气流量自动控制与检测;
8、运行状态实时显示,故障信息自动诊断,多项报警保护功能;
9、自适应PID控制算法,无需改变参数,即可实现的温度控制;
10、完善的安全保护措施,设置有多种安全保护机制以确保系统的安全运行:
11、质量保障。
设备名称 | PTLQ系列气体制冷机 |
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制冷方式 | 单机自复叠风冷 |
控制面板 | 7英寸彩色触摸屏, 中文显示,操作简便 、显示直观, 可显示、 记录温度曲线和测试数据 |
气体处理流量范围 | 100~500L/min(可定制) |
流量调节方式 | 比例阀PID自动调节 |
流量调节精度 | ±0.5L~±2L/min |
流量显示分辨率 | 0.1L/min |
温度范围 | -100℃ ~RT(设备出口温度) |
温度反馈 | PT100(进口温度 、 出口温度 、外部温度 、排气温度) |
控温对象 | 出口温度 |
温度&压力显示分辨率 | 0.01℃、0.1bar |
化霜方式 | 手动开启,热气化霜 |
气体要求 | 氮气或0~5bar压缩空气:需干燥处理,露点温度低于使用温度。 |
通信协议 | MODBUS RTU 协议 RS 485接口,兼容TCP/IP协议 |
外部输入 | 外置测温传感器端口 、 USB数据接口 |
存储功能 | 试验执行时,可实时显示图形曲线,显示内容;温度设定实际值, 执行程序周期,程序执行中具有跳文件,保持功能。 |
气体接口尺寸 | 10mm,卡套 |
设备电压 | AC 380V/3~/50Hz |
普泰克(上海)制冷设备技术有限公司
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