神影Miracle Vision系列3D显微镜结合高精度扫描和高精度算法分析,可以实现纳米级到毫米级尺度的表面形貌分析,包含粗糙度、台阶、面形轮廓、曲率等多种参数。 由于其无接触(无损检测)、对样品表面刚性无要求、精度高、快速扫描等特点,已经被广泛运用于半导体、光学镜片、生物芯片、金属表面、精密加工等行业。
多模式: 白光干涉、景深融合、共聚焦、明场观察不同观察模式,一台显微镜实现不同场景测量需求。
高精度:在不同测量模式,可实现亚纳米到纳米级精度的分析结果。
快速度:独有AI算法分析图样,实现“无延迟”的结果输出,体验“一键式”结果测量。
模块化: 无论是特殊样品需求还是功能需求,可提供“模块化”定制功能产品,满足各类特定场景应用。
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