深圳正阳工业清洗设备有限公司
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流片式智能清洗系统

该系列设备是晶圆CMP后等工序清洗设备,连线式等不同结构,以适用不同应用场景,其中连线式设备加配全自动上下片系统。

仪器分类: 通用型
配有漂洗、双面刷洗、兆声清洗(可选)、N2吹干、高速甩干功能,集成度高,占地面积小,湿进干出,适用于各类CMP后晶圆的清洗。

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