单片式清洗机是由几个清洗腔体组成,再通过机械手将每一片晶圆送至各个腔体中进行单独的喷淋式清洗,清洗效果较好,避免了交叉污染和前批次污染后批次,具有极高的工艺环境控制能力与微粒去除能力,有效解决晶圆之间交叉污染的问题。可2/4/6/8/12/16腔室,单腔室处理速度可达到35片/小时,根据客户需求定制适用于8寸/12寸硅片清洗,内部集成精密的化学药液配比装置和废液回收装置。
深圳正阳工业清洗设备有限公司
仪器网(yiqi.com)--仪器行业网络宣传传媒
网站导航
选购仪器 上yiqi.com
仪器网络推广品牌网上传播