柜式微波PLASMA清洗系统-深圳正阳工业清洗设备有限公司

详细信息

微波等离子清洗系统广泛应用于晶圆、玻璃基板、陶瓷基板、IC载板、引线框架、IGBT模块、带治具的MEMS传感器、射频器件等领域的表面处理

核心参数

自动化: 手动射频功率: 1000W±5% 可调频率: 2.45GHz

产品优势

1.频次高，可精细化清洗，多应用于先进封装和晶圆极封装；
2.等离子腔内360度运动，清洗彻底；
3.等离子密度大，同等时间内清洗效果好。
4.腔内无电极
5.可反复清洗，不伤产品。