科探小型有机物蒸镀设备

桌面高温蒸镀仪，

分别用钨坩埚和玻璃碳涂层坩埚蒸镀金膜,采用EDS分析金膜表面黑色颗粒的主要成分.对比金膜表面黑色颗粒分布的密度;根据两种坩埚蒸金膜时的物理学特征不同,研究黑色颗粒产生的机理,解释碳玻璃涂层坩埚蒸金黑色颗粒较多的原因;并利用玻璃碳坩埚采取不同的工艺条件进行对比试验,成功减少了金膜表面的黑色颗粒,为教学实验、真空镀膜工艺和集成电路生产领域蒸镀高质量的金膜提供帮助.

637858771737832260197.png   原样品没有镀膜                       637858771732996198687.png  115安100秒 机械泵

637858771732840196319.png115安 100秒 分子泵抽12分钟    637858771732684194803.png  115安 120秒 分子泵抽20分钟

真空度越高 越不易氧化 越接近金属本色

桌面高温蒸镀仪KT-Z1650CVD

控制方式

7寸人机界面 手动 自动模式切换控制

加热方式

数字式功率调整器

镀膜功能

0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序

最1大功率

≤1200W

最1大输出电压电流

电压≤12V  电流≤120A

真空度

机械泵 ≤5Pa（5分钟）   分子泵≤10^-3Pa

挡板类型

电控

真空腔室

石英+不锈钢腔体φ160mm x 160mm

样品台

可旋转φ62  （最1大可安装φ50基底）

样品台转速

8转/分钟

样品蒸发源调节距离

70-140mm

蒸发温度调节

≤1800℃

支持蒸发坩埚类型

钨丝蓝  带坩埚钨丝蓝  钨舟  碳绳  

预留真空接口

KF25抽气口  KF16真空计接口  KF16放气口 6mm卡套进气口

可选配扩展

机械真空泵（可抽真空 5分钟＜5Pa）  

数显真空计（测量范围大气压到0.1Pa）

分子泵机组（可抽真空20分钟≤5x10-3Pa）

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