基恩士(中国)有限公司
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基恩士 形状测量激光显微系统 VK-X3000 系列


产品介绍:

搭载白光干涉功能
纳米/微米/毫米一台即可完成测量

超越激光显微镜的限制,以三重扫描方式应对

  • 一台即可测量纳米/ 微米/ 毫米

  • 一台即可了解希望获取的信息

  • 最 高分辨率0.01 nm


采用了三重扫描方式,运用激光共聚焦、白光干涉、聚焦变化等三种不同的扫描原理,高倍率和低倍率,平面、凹凸表面的细微粗糙度,以及镜面体,透明体等。VK拥有应对多种样品的测量能力(从 1 nm 到 50 mm),纳米/微米/毫米一台完成测量。


产品特性

Basic Characteristics

观察

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从光学显微镜到SEM领域一台设备涵盖

  • 42 至 28800 倍

  • 无需对焦

  • 适用于多种样品

测量


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非接触瞬间扫描形状

  • 不会损伤目标物

  • 纳米级别也可准确测量

  • 透明体和坡度大的目标物也可测量

分析


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希望了解的表面“差异”一目了然

  • 定量化微小形状

  • 轻松比较多个样品

  • 粗糙度分析


三重扫描方式
解决“难以测量”的难题


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可根据样品工件的材料、形状和测量范围,选择激光共聚焦、白光干涉、聚焦变化等三种不同的扫描原理,进行高精度测量。


最高分辨率0.01 nm


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即使是纳米级的微小形状变化也能准确测量。
此外,如镜面体、透明体等测量难度高的材料也能实现高速、高精度、大范围的测量。


连高度差较大的凹凸处
和大范围区域也能测量


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最 大扫描区域50 mm见方。
凹凸不平或手掌大小的物体也能整体扫描。
只需一台设备,即可同时掌握整体形状和局部形状。


精确测量高倍率和低倍率。平面和凹凸面。

适用于各种目标物的测量能力



一台即可测量纳米/ 微米/ 毫米
一台即可了解希望获取的信息
Z高分辨率0.01 nm

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