型号 | RTR100L-W500 | |
控制系统 | 控制方式 | 全自动控制(自动/手动切换) |
PLC(标配)/PC(可选) | ||
操作系统 | Windows 10 | |
触摸屏 | 7寸 | |
整机规格 | 尺寸 | W6900×D1650×H1150mm |
腔体 | 处理宽幅 | <520mm |
材质 | 铝合金(标配)/不锈钢(可选),腔体3段式 | |
冰水机 | 通路 | 用于电源、电极、真空泵浦的冷却 |
供电 | AC380V、3PH、50/60Hz、3KW | |
蚀刻能效 | 速率 | ≥0.5µm/Min |
均匀性 | ≥90% | |
真空计 | 薄膜硅电容耐腐蚀 | 1个,0-10Torr |
流量计 | MFC | 4个,量程0-2000ml/min |
真空泵 | 干泵机组(螺杆泵+罗茨泵) | 1套,120m3/h+1800 m3/h;极限真空值≤50mTorr |
发生器 | 中频 | 40KHz,20KW |
温度控制系统 | 过程温度控制 | 30-150℃恒定可控 |
张力控制系统 | 数显张力 | - |
其它 | 工艺气体:14MPa减压至0.3MPa,O2=9.99%;Ar=99.99%;N2=99.99%;CF4=99.999% 气体压力:0.2MPa≤气源≤1MPa;气源压力:0.3-0.8MPa;气源纯度:无油无水干燥气体;工作环境温度:≤30℃;冻水流量:5 SLM;干燥Air/N2流量:17 SLM |
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