布鲁克纳米分析部
布鲁克纳米分析部

德国布鲁克 电子显微镜分析仪 QUANTAX EBSD


产品亮点:

1.5纳米
有效的空间分辨率
独特的同轴 TKD 提供最 佳的样品-探测器几何构型,从而实现无与伦比的性能


2nA

测试所需的 最 大电流
同轴 TKD 可实现低探头电流测试,且不影响测试速度和数据质量


125,000Pps

超快获取 FSE、BSE 和 STEM 图像
无与伦比的ARGUS成像系统可在几秒钟内实现高对比度和低噪声成像


具有无与伦比的空间分辨率的纳米材料取向分布图



QUANTAX EBSD 系统加上广受欢迎的 OPTIMUS TKD 探测器,是分析 SEM 中纳米材料的最 佳解决方案。原因如下:

  • 提供 1.5 nm 的最 佳空间分辨率

  • 在不影响速度和/或数据质量的情况下以低测试电流进行测试

  • 在使用浸入式透镜模式的超高分辨 SEM 下工作的唯 一 TKD 解决方案

  • 全自动内置 ARGUS 成像系统


为什么我需要同轴 TKD?




Ge-Sb-Te (GST) 薄膜样品的暗场像图片,我们感谢斯坦福大学Aaron Lindenberg组提供的样品和图像结果

  • 实现最 佳空间分辨率

  • SEM 中获取取向分布图和物相分布图

  • 用于快速测试,同时不影响数据质量/完整性

  • 以令人难以置信的速度,通过全自动信号优化,以出色的对比度和分辨率拍摄 STEM 图像

  • 可使用低电流分析束流敏感材料。


您的分析挑战是什么?

矿物学样品的高级物相识别

EBSD是地球科学研究中一项非常强大的技术,可用于分析微观结构和物相等。



Microstructure characterisation of a microprocessor wire bonding with EBSD

Ball bonding is a type of wire bonding, commonly used for electrical interconnections in semiconductor devices.


镍基超合金微观结构的 EBSD 表征

镍基超合金以其出色的机械强度、耐热蠕变变形、耐疲劳、耐腐蚀或氧化而广为人知。




电子枪: 钨灯丝
同轴 TKD 具有无与伦比的性能
Z佳空间分辨率

低探头电流要求
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