场发射扫描电镜基本构造
2023-02-024266一、电子源:
也称电子枪,产生连续不断的稳定的电子流。普通扫描电镜的电子枪由阴极(灯丝)、栅极和阳极组成。阴极采用能加热的钨丝,栅极围在阴极周围。被加热了的钨丝释放出电子,并在阳极和阴极之间施加高压,形成加速电场,从而使电子得到能量——高速飞向(在高真空镜筒中)样品。而场发射电子枪与普通钨丝电子枪有所不同,阴极呈杆状,在它的一端有个极锋利的尖点(直径小于100nm),尖 端的电场极强,电子直接依靠“隧道”穿过势垒离开阴极,由加速电压加速产生高速电子流飞向样品。一般来说,扫描电镜加速电压通常为1——30kV。
二、电子透镜:
将从电子枪发射出来的电子会聚成直径Z小为1——5nm电子束。
三、扫描系统:
使电子束作光栅扫描运动。
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