椭偏仪 QUASAR-E100系列

QUASAR-E100是一款桌面式光谱椭偏膜厚仪，它为客户提供更加准确、稳定的厚度和折射率测量，广泛应用于科研、半导体、液晶、太阳能制造等领域，适用于对厚度和折射率测量有更高精度要求的应用场景。

产品特点

各种尺寸样品测量

可测量如4-12英寸的晶圆及其他各种不规则形状样品

测量精度和稳定性高

相对于反射仪，QUASAR-E100可提供更高精度的测量，且可提供极薄膜的测量

多参数测量

可测量材料厚度、折射率和消光系数 

操作简单且功能丰富

用户无需过多培训即可轻松掌握测量流程及建立菜单，数据查看、统计和分析功能丰富

产品参数

★Si基底上对厚度小于30nm的SiO2薄膜样品连续测量30次数据的标准偏差

定制功能

可根据客户需求配置不同的光源，以实现不同性能的测量

可根据客户需求搭配自动运动平台

可根据客户需求配置小光斑