蒙天真空技术(上海)有限公司
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工作用油

蒙天真空为旋片泵提供不同的泵油(真空油)。通过使用适合于您工艺的泵油,可以显著提高泵的使用寿命。单一矿物油可覆盖多种应用,例如使用空气或惰性气体以及水蒸气的泵。复合蒸馏矿物油虽然可用于高要求的应用中,但是会造成化学腐蚀或等离子体离化。它适用于温度低于 120 °C 的情况。全氟聚醚 (PFPE) 具有化学惰性,适用于使用强腐蚀化学品的工艺,例如半导体和薄膜工业,以及氧气含量大于21%的介质。

图片

产品名称

属性

容量

适用产品

P3 矿物油

适用于抽吸空气、惰性气体和稀有气体的标准应用

适用于高运行温度最 高95°C时使用

极低的蒸气压,可实现的极限压力1·10-3hpa

用于在50和60HZ的主电源中运行的泵

非腐蚀性气体排放

耐氧化

1L/5L/20L

Duoline,Unoline,

Henaline

and Unoline plus, OktaLine G

F3 全氟聚醚


35ml/40ml

/50ml/65ml

/250ml/1L

HiPace分子泵系列

真空泵油

Lubricant

Inland 45


0.5L

DuoLine

A120 烃油

适用于一般用途、非腐蚀性气体、低温启动的烃油

用于在50HZ的主电源中运行的泵

2L/10L/60L

Pascal

A200 蒸馏烃油

适用于轻微腐蚀性气体

耐受等离子体离子

低返流

用于在50和60HZ的主电源中运行的泵

1L/19L

Pascal

A102烃油

干燥和水蒸气抽吸

冷冻干燥

用于在50和60HZ的主电源中运行的泵

2L

Pascal

D1合成二酯基油

适用于抽吸空气、惰性气体和稀有气体的标准应用

适用于高运行温度最 高120°C时使用

极低的蒸气压,可实现的极限压力5·10-2hpa

 

1L/5L/20L

Duoline, Unoline

Henaline OktaLin,OktaLine G,Hepta

阿皮松真空矿物油脂M型

不含硅酮

比硅酮油脂蒸汽压低

没有蠕动

 

25g

Pascal

A121烃油

用于在50和60HZ的主电源中运行的泵

耐酸和有机蒸汽

反复工作在大气压下

不能用于等离子刻蚀

高温下稳定抽气

1L

Pascal

A119烃油

用于在60HZ的主电源中运行的泵

用于非腐蚀性气体

1L

Pascal

TL 011真空泵油Lubricant


0.5L/1L

Henaline

F5全氟聚醚

适用于抽吸氧气、臭氧、卤素、有机和无机溶剂、HCL、BF3、HF、PO3、氟

适用于高运行温度最 高120°C时使用

适用于具有<20m3/h抽吸能力的泵

极低的蒸气压,可实现的极限压力1·10-3hpa

 

 

0.5L/5L

OktaLin,OktaLine G,Hepta

F4全氟聚醚

适用于抽吸氧气、臭氧、卤素、有机和无机溶剂、HCL、BF3、HF、PO3、氟

适用于高运行温度最  高120°C时使用

适用于具有<20m3/h抽吸能力的泵

极低的蒸气压,可实现的极限压力1·10-3hpa

 

 

1L

DuoLine、UnoLine

A300白矿物油

耐受等离子体离子

可用于路易斯酸和卤素气体抽气

低返流

用于在50和60HZ的主电源中运行的泵

高腐蚀性气体排气

1L

Pascal

A111烃油

高温环境稳定运行

在循环的过程中回收气体

对氧气敏感(不能频繁的在大气压下工作)

用于在50和60HZ的主电源中运行的泵

 

2L

Pascal


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