德国普发分子泵 SplitFlow

■       取代多个涡轮分子泵

■       极大地降低成本

■       基于整体式设计降低3件数量,

■       极大地提高了设备的稳定性及维护保养的速度

■       可在现场更换滚珠轴承

■       与系统紧密结合

■       独立的机械和真空设计

■       充分满足客户定制化需求

氮气

氦气

氢气

氮气

hPa

min

SplitFlow™ 50

53

27

21

20

< 4X10–7

1.3