美能光伏科技(江苏)有限公司
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美能3D显微镜


美能3D显微镜ME-PT3000

美能ME-PT3000共聚焦显微镜可对待测物的表面进行非接触式三维形貌扫描,获取2D/3D表面形貌、分析微观轮廓几何尺寸、粗糙度、平整度、曲率、面形精度等参数指标,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。

五大分析功能

提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能,粗糙度分析包括线粗糙度、I面粗糙度、平整度等全参数分析功能;几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、圆度形位公差评定等功能;结构分析包括孔洞体积和波谷深度等;频率分析包括纹理方向和频谱分析等功能;功能分析包括SK参数和体积参数等功能。

强大的数据处理功能

提供调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能,其中调整位置包括图像校平、镜像等功能;纠正包括空间滤波、修描、尖峰去噪等功能;滤波包括去除外形、标准滤波、过滤频谱等功能;提取包括提取区域和提取剖面等功能。

广泛的应用领域

对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

高精度、高重复性

采用针孔共聚焦光学系统、高稳定性结构设计、优异的3D重建算法组成测量系统保证测量精度高

•测量与分析同界面操作,无须切换,测量数据自动统计,实现了快速批量测量的功能

•可视化窗口,便于用户实时观察扫描过程

•结合自定义分析模板的自动化测量功能,可自动完成多区域的测量与分析过程

•几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功能模块齐全

•一键分析、多文件分析,自由组合分析项保存为分析模板,批量样品一键分析,并提供数据分析与统计图表功能

•可测依据ISO/ASME/EUR/GBT等标准的多达300余种2D、3D参数

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规格

项目

内容

测量原理

转盘共聚焦光学系统

显微物镜

10×,50×,100×

视场范围

120×120μm~1.2×1.2 mm

高度重复性

20nm

高度精度

±(0.2+L/100) μm

高度显示分辨率

0.5nm

宽度重复性

40nm

宽度精度

2%

宽度显示分辨率

1nm

样平台尺寸

230×230 mm

Z0轴扫描范围

10 mm

Z0轴扫描步长

20nm ~ 150nm

物镜塔台

5孔电动

光源

白光LED

 


美能ME-PT3000共聚焦显微镜可对待测物的表面进行非接触式三维形貌扫描,获取2D/3D表面形貌、分析微观轮廓几何尺寸、粗糙度、平整度、曲率、面形精度等参数指标,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。

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