超高灵敏检漏仪

超高灵敏度检漏仪

真空行业专用超高灵敏检漏仪，可检漏率≤1*10-15Pa*m3/s

超高灵敏度检漏仪ULD100采用质谱仪作为检测单元，而不是简单的氦气质谱，信号更灵敏，准确度更高。为保证痕量漏率的检测，超高灵敏度检漏仪的配备超高真空系统，大大降低信号本底，提高测量的准确性。

具有大漏检漏模式，避免大漏时氦气污染系统，更好地保护系统本底。具备置换等功能，确保快速降低本底。

友好的软件窗口，方便用户调整检漏工艺参数，软件窗口显示检漏结果，同时软件把检漏结果存储为可读取文件，可以拷贝输出，利于客户进行质量管理和跟踪记录。

应用领域：适用于航空、航天、电子等领域的科研和生产，如探测器、杜瓦等的超精气密性检漏

检漏模式：粗检、精检

最小可检漏率:≤1*10-15Pa*m3/s

动态喷氦检漏（粗检） ～ 5*10-12Pa*m3/s

静态累计检漏（精检） 5*10-12Pa*m3/s - 1*10-15 Pa*m3/s

极限真空: ≤1*10-8mbar

响应时间：≤1s(粗检)，≤5min(精检)

工位数：标配4工位，可定制化工位数

控制方式：全自动、半自动、手动

内置10-11 Pa*m3/s校准漏孔，具有自动校准功能

可选配PC-PLC控制系统

设备布局合理，结构紧凑，占地空间小，方便操作