为了提高厚膜电路的精度,必须进行阻值调整。由于厚膜丝网印刷操作固有的不准确性,基板表面的不均匀及烧结条件的不重复性,厚膜电阻常出现正负误差,如果阻值超过标称值将无法修正,但是,一般情况下印刷烧成后阻值低于目标值的大约30%,所以要通过激光调整达到目标值。
激光修调是把一束聚焦的相干光在微机的控制下定位到工件上,使工件待调部分的膜层气化切除以达到规定参数或阻值。调阻时局部温升使玻璃熔化,气化部分阻值槽边缘受到玻璃覆盖,可填平基体表面被切割的介质。
先进的激光修调系统应用了大量的LSI、VLSI电路,以大部分的软件操作代替许多硬件功能。核心部分是通过硬件直接与激光器、光束定位、分步重复及测量等系统相连接。测量系统由采用精密电桥和矩阵组合的无源网络组成。
LT7130激光调阻机
设备特点
适用厚膜电路调阻,电子模块功能修调
高精度,高速度,高可靠性
订制的技术激光器,切口质量高
直线电机XY平台分步重复
消色差成像技术,图像识别功能
矩阵测量系统,配备IEEE-488(GPIB)接口
强大软件编程功能,满足各种不同应用
主要技术参数
激光系统 | 型号规格 | LT7130/G/U |
激光波长 | 1064nm/532nm/355nm | |
激光功率 | 8W/5W/3W | |
典型光斑尺寸 | 35±5µm/18µm/10µm | |
对焦方式 | 自动,计算机程序控制 | |
冷却方式 | 水冷 | |
激光束定位系统 | 激光束运动范围 | 60mm X 60mm |
运动分辨率 | 0.76µm | |
重复定位精度 | ±2.5µm | |
分步重复运动系统 | 运动方式 | 平面电机或直线电机 |
运动范围 | 290mm*260mm | |
重复定位精度 | ±1µm | |
运动速度(空载) | 900mm/s | |
测量系统 | 电阻测量方式 | 四线制测量或二线制测量 |
电阻测量精度 | 中阻 ± 0.02% | |
电阻测量范围 | 0.1Ω-100MΩ | |
测量速度 | 25µs/次 | |
零点及满程误差校正 | 自动校正 | |
探针定义 | 可编程任意设定 | |
探针板运动 | 自动、计算机程序控制 | |
探针板规格 | 标准P48 |
武汉三工国际贸易公司
仪器网(yiqi.com)--仪器行业网络宣传传媒