Filmetrics R50-EC-科磊半导体设备技术（上海）有限公司

详细信息

Filmetrics R50-EC是非接触式电涡流系统，可用于金属层厚度、电阻、电阻率、电导和电导率的测量。非接触式电涡流法是测量敏感和/或柔性导电表面电阻和薄膜厚度的理想选择。

Filmetrics R50-200-EC适用于更大尺寸样品测量。

核心参数

分类: 接地电阻

产品优势

Filmetrics®电阻测试仪在超过45年的电阻测量创新和技术专长的基础上开发而成。自从1975年ADE 6035电阻计问世到Tencor Instruments、Prometrix和Filmetrics的技术开发，R系列电阻量测仪R50是综合技术专长的结晶。