科磊半导体设备技术（上海）有限公司
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ZetaScan

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产品介绍

ZetaScan为显示器和太阳能应用提供高产量面板检测，其中包括玻璃上表面和下表面的颗粒、凹坑、凸起、划痕、嵌入缺陷，以及GaAs上的薄膜缺陷。宏观与微观缺陷的分类结合了光学特征和缺陷属性。ZetaScan检测系统的高灵敏度提供了一种经济高效的解决方案，适用于工艺开发和大批量制造工艺监控。


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主要功能

  • 检测玻璃晶圆和面板上的缺陷

  • 手动最 大支持Gen2尺寸的面板，厚度为最 大支持2.5mm的样品

  • 侦测颗粒、划痕、凹坑、凸起、污渍和其他表面缺陷


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应用案例

  • 衬底质量控制

  • 衬底供应商比较

  • 入厂晶圆质量控制 (IQC)

  • 出厂晶圆质量控制 (OQC)

  • CMP（化学机械抛光工艺）/抛光工艺控制

  • 晶圆清洗工艺控制

  • 外延工艺控制

  • 衬底与外延相关分析

  • 外延反应设备供应商比较

  • 工艺设备监控


ZetaScan是针对无图案晶圆/玻璃面板的激光检测系统，它采用多通道检测技术对玻璃上的缺陷进行检测和分类。扫描光束光学系统将高灵敏度与高产量相结合，可在几分钟内检测全部表面。通过扫描生成晶圆图，可以对玻璃上表面和下表面颗粒进行自动缺陷分类。

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