成都四洋科技有限公司
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INFICON冷阴极电离真空规MAG470


INFICON冷阴极电离真空规MAG470，测量范围为5 × 10-11mbar到1 × 10-2mbar  

(3.8 × 10 -11 Torr 到 7.5 × 10 -3 Torr)。

优势

· 没有烧坏的灯丝

· 加长版，传感器输出温度可达250℃

· 优异的点火性能

· 易清洗

· 金属密封通道

· LED高电压指示灯

· 对数模拟输出信号

应用

· 超高真空压力监测

· 蒸发和溅射系统的基本压力

· 中高真空范围内的通用真空测量与控制

规格



MAG470            MAGA470扩展

测量范围（空气，氮气)

mbar (Torr)

5 × 10 -11 … 1 × 10 -2 (3.8 × 10 -11 … 7.5 × 10 -3)

精度(N2)1×10 -9…1×10 -3mbar

%

≈±30%

重复性1×10 -9…1×10 -3mbar

%

≈±5%

安装方位


不限

容许压力

Bar

≤10（限于惰性气体）

容许温度
操作（环境）
储存
输出

 

℃
℃
℃

 

+5 … +55
–40 … +65
2501)(扩展版 2)

电源电压
标准
供电量 3
电压频率

 

V (dc)
V (dc)
Vpp

 

+15…+30
+16…+30
≤1

耗电量

W

≤2

保险丝连接

AT

≤1

输出信号（测量信号）
电压范围
测量范围

 

V
V

 

0…+10.5
+1.96…+8.6

相对压力
误差

 

V

对数, 0.8 V/decade
<0.5 (无供应)

输出电阻
最小负载电阻

Ω
KΩ

2 × 10
10、防短路

响应时间
p>10-6mbar
p=10-8mbar

 

MS
MS

 

<10
≈1000

识别量规

KΩ

7.15，供参考使用

电气连接
传感器电缆
电缆长度

 

 

M

FCC 68电器连接器，8极，内螺纹
8极加屏蔽
≤50(8×0.14mm2)

工作电压
工作电流

kV
μA

≤3.3
≤100

暴露于真空中的材料


不锈钢，氧化铝，银，

内部容积

cm³

≈20

重量
DN 40 CF-F

 

g

 

≈950≈1100

保护类别


IP 40

标准


EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1

 

1）无电子和磁屏蔽

2）规定区域内250℃，见尺寸

3）电源单元的最小电压必须与传感器电缆的长度成比例地增加


INFICON冷阴极电离真空规MAG470，测量范围为5 × 10-11mbar到1 × 10-2mbar  
(3.8 × 10 -11 Torr 到 7.5 × 10 -3 Torr)。

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