简介
PDMS芯片制作方便、成本低、生物相容性好，是前期验证微流控实验的绝 佳芯片解决方案.此芯片加工系统支持定制。我们提供PDMS芯片加工实验室设计与搭建的一站式服务，从洁净间设计到实验室布局，再到设备选择，以及您采购后的安装调试及培训，您只需要提出需求，我们可以做到交钥匙工程。当然，系统里的每个模块也支持单独售卖，您可以根据自己需求挑选设备。
功能图解
PDMS芯片制作工艺一般包含以下步骤：① 清洗；② 匀胶；③ 曝光光刻；④ 显影；⑤ 烤胶；⑥ PDMS成型；⑦ 等离子表面活化处理；⑧ 键合；⑨ 打孔。EasyPDMS芯片加工系统可以顺利完成以上所有流程。
应用系统
PDMS芯片制作
规格参数
项目 | 参数 |
适用芯片 | PDMS芯片制作 |
最小结构分辨率 | 2um |
处理基板尺寸 | 4”（φ10cm） |
工艺及设备对应表格：
工艺名称 | 设备仪器名称 | 型号 |
清洗 | 等离子清洗机 | CUTE |
超声清洗机 | 市售标准型号 | |
匀胶 | 匀胶显影机 | SC100 |
PDMS成型机 | ZentriForm | |
曝光光刻(2选1） | 曝光机 | UV-KUB 2 |
UV-KUB 3 | ||
显影(2选1） | 匀胶显影机 | SC100 |
简易显影池 | 客户自备 | |
烤胶 | 精密热板 | HP100 |
PDMS成型(2选1） | PDMS成型机 | ZentriForm |
培养皿/热板 | 客户自备培养皿/HP100 | |
表面活化处理 | 等离子清洗机 | CUTE |
键合 | 精密热板 | HP100 |
打孔 | 打孔器 | PDMS Port Creator |
打孔针 | 市售标准型号 |
微纳立方科技(北京)有限公司
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