多功能光学测试模组
Zeta-20提供多种光学测试技术满足用户各种领域测试需求
• ZDot TM Z点阵三维成像技术是Zeta所有系列产品的标配技术,Z点阵独特的明暗场照明方案结合不同物镜帮助客户 测量最“困
难”的表面。
• ZIC 干涉反衬成像技术,实现 纳米级粗糙度表面的成像及分析。
• ZSI 白光差分干涉技术,垂直方向分辨率可达 埃级。
• ZI 白光干涉技术, 大视场下纳米级高度的理想测量技术。
• ZFT 反射光谱膜厚分析技术,集成宽频反射光谱分析仪,可测量薄膜材料的厚度、折射率和反射率。
北京中海远创材料科技有限公司
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