KLA 纳米压痕仪 INSEM HT

• Continuous Stiffness Measurement 连续刚度测试功能
• ProbeDMA™材料的粘弹性测试功能
• AccuFilm™ 薄膜测试功能
• NanoBlitz 3D 功能-提供三维成像功能
• NanoBlitz 4D 功能-提供四维成像功能
• User Method Development 自定义测试功能
• Data Burst 100 kHz 数据极速采集功能
• Gemini 双子星多维度磨损附件
• True Test I-V Electrical 测试附件
• 800°C 样品和压头同时加温附件    

 KLA InSEM 系列可以和各个SEM和FIB厂商的主流型号联合工作，包括FEI、Jeol、Tescan、Zeiss 等等。
      电磁力驱动载荷激发器
      KLA 公司全系列的力学测试产品均采用电磁驱动原理的加载力激发器。对纳米压痕物理模型和最优线性特性的电磁力驱动原理的深刻理解，以及高灵敏度的三片式电容传感器的设计，保证全系列纳米力学产品在整个量程范围内均能得到高精准、高分辨的控制。
       KLA InSEM 系列：超前的激发器的结构设计，实现载荷和位移的分别控制和探测，实现纳米压痕检测，包括动态力学测试、软材料测试、及薄膜测试等等。
        InForce50 载荷激发器 载荷激发器
• zui大加载载荷： 50mN
• 纵向载荷分辨率： 3nN
• 压头zui大移动范围：45um
• 位移噪音背景: <0.01nm
• 位移数字分辨率： <0.002nm
         InForce1000 载荷激发器 载荷激发器
• zui大加载载荷： 1000mN
• 纵向载荷分辨率： 6nN
• 压头zui大移动范围：80um
• 噪音背景: <0.1nm
• 位移数字分辨率： <0.004nm
NanoFlip 的样品台处于“Up”状态时，SEM/FIB 可以方便的观察样品和进行微区定位，当样品台处于“Down”状态时，SEM/FIB 又可以对整个力学实验过程进行实时观察并进行实时的视频捕捉。
        数据采集 数据采集 ( (InQuest 控制器 控制器) )
 业内响应时间zui快、数据采集率zui高的控制系统，完美实现
材料瞬间变化的捕捉:
• 数据zui高采集率：100kHz
• 控制器时间常数：20us
高精度的纳米马达台
• X 向zui大行程：20 mm
• Y 向zui大行程：20 mm
• Z 向zui大行程：25 mm
• Encoder X-Y-Z sensor resolution： 4 nm
      横向加载控制
      NanoFlip 可提供 Gemini 双子星选件，业内真正实现原位横向力和横向位移的直接测量，业内在纳米尺度上精准的实现多维度的磨损测试，实现多维度的动态力学
      工作模式：
• 测量材料的摩擦系数或泊松比
• 精确的载荷、位移、动态响应在横向和纵向的控制
• 多维度的硬度、磨损、黏附性的精准测量
• 亚纳米级移动精度的样品台，实现精确定位
• S次实现横向的纳米和纳牛级的准静态和动态测试
        KLA 全系列的 InSEM 产品的动态测试附件是由连续刚度专利技术的发明人研发的：动态力学测试原理为在准静态加载过程中，施加在压头上一个正玄波，从而表征出随着压痕深度、载荷、时间或者频率的变化材料力学性能的变化：
• 动态激发频率：0.1Hz-1000Hz
• 单次动态力学测试可以代替>100 次静态力学测试结果
• 在微小的力和位移测试下提供超精准的动态力学测试
• 实现检测高分子材料的复合弹性模量
• 实现检测软材料蠕变性能
        原位快速表面 表面 3D 力学 力学性能 性能 Mapping 功能
• 快速的样品表面硬度和杨氏模量的 Mapping 功能。
• 同时给出不同成分的力学结果的统计数据。
• 不受样品表面粗糙度和其它因素的影响
        原位快速表面4D力学性能性能Mapping功能
        KLA 的 NanoBlitz 4D 再次极大的扩展了 已经得到全行业认可的连续刚度测试功能（ Continuous Stiffness
Measurement ) ，可以快速获取到样品硬度和杨氏模量在 XY向上的分布情况以及由表往里随样品压入深度的变化情况，
用户通过自定义恒应变速率，非常快速(7s/点)的对各种样品和复合材料进行力学研究，也可以应用于各种失效分析