机台行程:200×200×200mm(其他可选)
测试精度:XY:2.8+L/150 Z:5.0+L/150
光栅尺:进口光栅尺,分辨率0.05um
测试速度:130mm/s
CCD:高分辨率工业级彩色CCD
光学系统:高精度进口自动变倍镜头
体积(W×D×H):约760×820×1100mm
重量:约225kg
电源:1 ∮,AC220V,50/60HZ
武汉市泰克尼斯检测仪器有限公司
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