Sensofar被选择执行这些测量任务,因为他们在这方面有专业知识和易于接触的特点。
仪器挡板表面抛光质量的确定
在巴塞罗那高能物理研究所(IFAE),使用S neox光学轮廓仪来确定用于构建仪器挡板的抛光不锈钢表面的粗糙度。具体而言,在进行不同的表面处理(如抛光和孔加工)后进行了测量(图3)。
对于测量样本,仅使用相移干涉术(PSI)这种在S neox中可用的干涉模式才能满足分辨率和重复性的要求。这种光学技术具有极低的测量噪声,甚至可达到0.1埃的水平。这对于分析超光滑表面非常理想,这些表面的Ra值低于10纳米(图4)。
这种表征提供了每种表面处理方式对粗糙度数值及其散射特性的影响信息。就此而言,在安装到维尔戈干涉仪的挡板上,挡板的平均粗糙度必须小于Ra=0.0069微米。仪器挡板满足了这一要求。
此外,还对面积参数进行了探索,以供未来研究使用。SensoPRO软件使得寻找能够区分不同表面的粗糙度参数变得容易。因此,对三组数据同时进行分析,并根据ISO 25178标准计算了粗糙度参数。结果如图5所示,展示了能够区分不同表面的潜在粗糙度参数(以绿色评级表示)。
此外,SensoPRO可以显示两个参数如何组合形成散点图,以查看可能的相关性(图6)。
得益于S neox,抛光技术得以获得认证:挡板满足了所需的平均粗糙度要求,即Ra = 0.0069微米。加上总集成散射在500到800ppm之间,使其符合维尔戈干涉仪的安装要求。
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