金属和非金属固体材料中的氧氮氢是采用惰性气体熔融原理来检测，可以用一台ONH-800氧氮氢分析仪测定氧氮氢含量，在进行氧氮氢的测定中，将称量后的试样放在石墨坩埚中，在氦气（单测氧和氢可用氩气）气流中通过高温加热熔融。试样中的氧与石墨坩埚中的碳反应生成一氧化碳（CO），试样中的氮、氢以氮气和氢气的形式逸出，这些混合气由载气分2路分别送到高温转化炉，在高温转化炉中一氧化碳（CO）转化为二氧化碳（CO?），H?转化为H?O，氮气不发生反应。通过转化炉后的混合气体被送到CO?红外检测池和H?O红外检测池中，在这里二氧化碳（CO?）和H?O被检测，反算出氧和氢的含量。然后，通过红外检测后的混合气体中的二氧化碳（CO?）和水被吸附后，剩余的氮气和氦气混合气体通过热导检测池被检测，氮气经分离后进入热导池检测出氮含量，经计算机数据处理直接给出测试结果。

CO?和CO等极性分子具有永久电偶极矩，因此具有振动、转动等结构，按量子力学分成分裂的能级，可于入射的特征波长红外辐射耦合产生吸收。

朗伯-比尔定律

I＝I0exp（-aPL）

I0 入射光强度    I 出射光强     a 吸收系数

P 相应气体的分压强   L 分析池的长度

氧分析仪利用CO?气体在4.26um处具有较强的特征吸收带这一特性,通过检测气体吸收 光强分析CO?,间接确定被测样品中的氧元素的百分含量。

脉冲炉加热石墨坩埚到被测样品熔融的温度，被测用品中的氮在高温下以N?形式溢出，所生成的含有N?的混合气体通过吸收装置，其它成分被吸收，剩下N?和载气经流量控制系统进入热导检测器，得到的N?总含量。