离子平面抛光和离子切割一体化技术,一套系统实现两种模式,无需复杂的切换流程,简洁方便1
动态离子切割技术,实现样品的往复平移和旋转,zui大切割长度达10mm ,有效减少投影/遮挡效应2
超大的平面抛光装载尺寸50mm ×25mm(直径×高),为原位实验等大尺寸样品提供可能3
能量0.5-10kv连续可调,既可满足低能区减少非晶层,又可兼顾高能区大幅提高制样效率
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