国仪量子 HEM6000高速扫描电子显微镜 SEM

高速扫描电子显微镜 
HEM6000

HEM6000是一款可实现跨尺度大规模样品成像的高速扫描电子显微镜。
采用高亮度大束流电子枪、高速电子偏转系统、高压样品台减速、动态光轴、浸没式电磁复合物镜等技术，实现了超快的数据采集和成像速度，同时保证了纳米级分辨率。 
面向应用场景的自动化操作流程设计，使得大面积的高分辨率图像采集工作更高效、更智能。成像速度可达常规场发射扫描电镜的5倍以上。

高速扫描驱动器

驻点时间10 ns/pixel，

zui快采集速度2*100 M pixel/s

电子过滤系统

SE/BSE信号自由切换，

MIX成像信号比例可调

全静电高速偏转系统

可实现高分辨大场模式，

4 nm像素点zui大视场达64*64 um²

样品台减速技术

降低入射电子落点电压，

同时提高回收电子的收集效率

浸没式电磁复合物镜

物镜磁场浸没样品

实现了低像差高分辨率

产品参数

关键参数	分辨率		1.3nm@3 kV，SE ; 1.5nm@1 kV，SE
			1.9nm@ 3 kV, BSE; 2.3nm@ 1 kV, BSE
			0.9nm@30kV，STEM
	加速电压		100 V~6 kV(减速模式)
			6 kV~30 kV(非减速模式)
	放大倍率		66~1,000,000x
	电子枪类型		高亮度肖特基场发射电子枪
	物镜类型		浸没式电磁复合物镜
	偏转系统		静电偏转器
样品装载系统	真空系统		全自动控制，无油真空系统
	样品监控		样品仓监控水平摄像头； 换样仓监控垂直摄像头
	样品zui大尺寸		直径4英寸
	样品台	类型	电机驱动3轴样品台（*可选配压电驱动样品台）
		行程	X、Y轴：110mm； Z轴：16mm；
		重复定位精度	X轴：±0.6μm； Y轴：±0.3μm；
	换样方式		全自动控制
	换样时间		＜15 min
	换样仓清洗		全自动控制等离子清洗系统
图像采集与处理	驻点时间		10 ns/pixel
	图像采集速度		2*100 M pixel/s
	图像大小		24K*24K
探测器和扩展	标配		镜筒内混合电子探测器
	选配		低角度背散射电子探测器
			镜筒内高角度背散射电子探测器
			明场透射电子探测器
			高角/中角/底角暗场透射电子探测器
			压电驱动样品台
			高分辨大场模式
			样品仓等离子清洗系统
			6英寸样品装载系统
			主动减震台
			AI降噪；大图拼接；三维重构
软件	语言		中文
	操作系统		Windows
	导航		光学导航、手势快捷导航
	自动功能		自动样品识别、自动选区拍摄、自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散