TESCAN AMBER 双束聚焦扫描电子显微镜 FIB-SEM

创新的 BrightBeam™SEM 镜筒技术，实现真正的超高分辨（UHR）

• 最新的 BrightBeam™SEM 镜筒，电磁-静电复合物镜，配置的 70°极靴 ；

• 无磁场超高分辨成像，可以最大化的实现各种分析，包括对磁性样品的分析；

• 最新的多种探测器，包括透镜内轴向探测器（In-Beam Axial detector ）以及多控制器，可选择不同角度和不同能量来收集信号，更好的表面灵敏度和对比度，可以看得更细致，观察更深入；

• 新型场发射肖特基电子枪的最大束流可达到 400 nA，同时可实现电子束能量的快速改变；

• 新一代电路系统可同时支持多达 8 个实时信号通道

• EquiPower™ 透镜技术可实现高效的散热并保证电子镜筒的稳定性；

• 电子束减速技术（BDT）进一步加强了低电压下的分辨率，并能同时探测 SE 和 BSE 信号（选配）；

创新的 Orage™ Ga FIB 镜筒可完成极具挑战性的纳米工程任务

• 创新的 Orage™ Ga FIB 镜筒保证绝佳的离子分辨率，30 kV 分辨率优于 2.5 nm ，最低电压可达 500 V；

• 优秀的低压样品制备能力可以快速制备无损超薄 TEM 样品；

• FIB 束流最大可达100 nA，SmartMill 级别的高速切割进行截面处理和薄片取出使得加工效率提升了一倍；

• 快速的 FIB 纳米重构技术，轻松了解样品的超微观信息；

• 采用新型 OptiGIS 气体注入系统，可快速启动，沉积/蚀刻稳定性极好，一台仪器最多安装6个 OptiGIS；

• 无漏磁 SEM 成像和高速 FIB 相结合，可以快速不间断地完成铣削/连续成像，适用于 TEM / 原子探针样品制备或 FIB-SEM 断层扫描。