产品简介：
DN系列探针台是一款适用于4-12英寸晶圆的精密探针台。该系列探针台采用高刚性显微镜龙门设计，结构稳定。显微镜平移台可进行X-Y-Z方向精密位移调节，显微镜放大倍率高，操作方便。同时支持多种功能的升级，非常适合晶圆级的测试应用。该产品主要应用于集成电路/芯片/MEMS器件/管芯晶圆/LED/LCD/太阳能电池等行业的测试及研究领域。在科研单位和半导体工厂都得到了广泛运用。
产品优势：
显微镜具备高刚性龙门支架且搭配气动升降，保证高质量光学成像质量。
卡盘同时具备快速和微调升降，便于样品和探针快速分离，也可以用于探针卡的扎针。
可升级性强，可升级 220G 高频，也可以集成光电流扫描成像或拉曼-瞬态荧光寿命成像系统等。
详细参数：
技术参数 产品型号 | DN-4 | DN-6 | DN-8 | DN-12 | |
探针台本体 | 整机尺寸（mm） | 550L*600W*700H | 600L*650W*700H | 650L*700W*700H | 700L*750W*700H |
重量 | 60kg | 70kg | 80kg | 100kg | |
自适应减震系统 | 具备自适应减震系统 ， 一定程度上可防止外界震动的干扰。 | ||||
卡盘大小 | 4" ,360 度转动, 可微调 | 6" ，360 度转动 ， 可微调 | 8",360 度转动，可微调 | 12"，360 度转动，可微调 | |
卡盘行程和精度 | 4"*4" ， 精度 10um | 6"*6" ， 精度 10um | 8"*8" ， 精度 10um | 12"*12 ， 精度 10um | |
卡盘升降功能 | Chuck可以上下快速升降 5mm 和微调升降 5mm ， 精度 1 微米(使用探针卡的时候使用) | ||||
卡盘吸附方式 | 真空吸附 ， 可选择环形吸附或者多孔吸附 （适用于薄片） | ||||
背电极测试功能 | 具备 ， 样品台电学独立悬空 ， 带 4mm 香蕉头插口 | ||||
针座平台 | 材质 | U 型平台 ， 镀镍 ， 与探针座之间具备更强吸附力 | |||
大小 | 最多可放置4~6个探针座 | 最多可放置8~10个探针座 | |||
显示系统 | 显微镜成像系统 | 体式显微镜/视频显微镜/金相显微镜+CCD 成像系统 | |||
倍率范围 | 16X~100X/60X~420X/20X~4000X | ||||
显微镜行程 | 具备高刚性龙门架结构 ， XYZ 行程分别为 2 英寸*2 英寸*2 英寸 ， 精度 1um | ||||
CCD 成像系统 | 200 万/500 万像素 ，帧率 60fps，带拍照/录像/测量功能 | ||||
探针座 | 种类 | DR/L-100m/V 和 DR/L-40m | |||
X-Y-Z 行程 | 12mm-12mm-12mm | ||||
机械精度 | 0.7um/10um | ||||
夹具 | 漏电精度 | 10pA/100fA | |||
接口形式 | 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴接口/SMA /裸线等 | ||||
其它 | 选件 | 屏蔽箱/防震桌/射频/同轴/三轴加热卡盘/探针卡/光电流显微镜/大功率 | |||
电力需求 | 220V/50HZ | ||||
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