瑞士Powatec 12寸晶圆紫外固化机

POWATEC 固化系统专为固化最大 300 毫米的晶圆和框架而设计。LED 产生的波长为 365 nm，最大输出光功率为 750 mW。

打开盖子，将晶圆放在左侧传送带上。按下启动按钮。晶圆在 LED 单元上方移动到右侧。固化在大约 20-30 秒后完成，产生 130-180 帧/小时的稳定吞吐量。完全可调的固化时间范围在 15 秒到 3 分钟之间。

主要特点：

• 采购成本低=总拥有成本 (COO) 低！

• 没有产生有害臭氧

• 零预热时间

• UV - LED使用寿命长（ 10,000小时以上）

• 低强度下降（10,000小时内下降 5%）

• 对薄膜没有热影响

• 紧凑而坚固的桌子设计

• 安装和实施时间短

• 维护成本低

• 符合IEC 204-1安全标准

• 生产率130-180晶圆/小时。

选项：

• 氮气淋浴

• 带储物空间的支撑台，适用于洁净室