场发射电子显微镜-北京华纳微科技有限公司

详细信息

技术参数

▪ 分辨率： 0.8nm @15 kV 1.6 nm @1kV

▪ 放大倍数：10-1,000,000×

▪ 加速电压：调整范围：0.02-30 kV（无需减速模式实现）

▪ 探针电流： 4pA-20nA （40nA&100nA可选）

▪ 低真空范围：2-133Pa（Sigma 500可用）

▪ 样品室： 358 mm（φ），270.5 mm（h）

▪ 样品台：5轴优中心全自动

▪ X=125 mm（可选130mm）

▪ Y=125 mm（可选130mm）

▪ Z=50 mm

▪ T=-10º-90º

▪ R=360º 连续

▪ 系统控制：基于Windows 7的SmartSEM操作系统，可选鼠标、键盘、控制面板控制

核心参数

电子枪: 场发射加速电压: 调整范围：0.02-30 kV（无需减速模式实现）放大倍数: 10-1,000,000×分辨率: 0.8nm @15 kV 1.6 nm @1kV

产品优势

技术参数
▪ 分辨率： 0.8nm @15 kV 1.6 nm @1kV
▪ 放大倍数：10-1,000,000×
▪ 加速电压：调整范围：0.02-30 kV（无需减速模式实现）
▪ 探针电流： 4pA-20nA （40nA&100nA可选）
▪ 低真空范围：2-133Pa（Sigma 500可用）
▪ 样品室： 358 mm（φ），270.5 mm（h）
▪ 样品台：5轴优中心全自动
▪ X=125 mm（可选130mm）
▪ Y=125 mm（可选130mm）
▪ Z=50 mm
▪ T=-10º-90º
▪ R=360º 连续
▪ 系统控制：基于Windows 7的SmartSEM操作系统，可选鼠标、键盘、控制面板控制