德国布劳恩 真空蒸镀系统MINIvap

可集成MBRAUN手套箱(由过渡舱实现连接)

·           可处理50 x 50 mm大小的晶圆基板

·           紧凑型设计

·           低成本、经济型方案

·           交货快

·           安装简单、方便

·           易于工艺改造和提升