· 可单独使用
· 紧凑型设计
· 经济型解决方案
· 多源共蒸
· 一致性标准偏差在+/-3 %区间 (几何式设计可缩小至+/-1 %)
· 两种型号可选: UNIvap 4S 和 UNIvap 5S
· 最多可实现8源共蒸
· UNIvap 4S可用于大小100x100 mm或直径100 mm (4英寸)的基板
· UNIvap 5S可用于大小150x150 mm或直径150 mm (6英寸)的基板
深圳市科时达电子科技有限公司
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