SS-60系列扫描电子显微镜-深圳市科时达电子科技有限公司

详细信息

产品说明：

（1）放大倍率6万倍（Magnification Max 60,000 X）；

（2）采用二次电子和背散射电子双重探测器（Signal Detection: SE Detector+BSE Detector）；

（3）5kV~30kV加速电压选择，图像分辨率高（Accelerating Voltage:1kV to 30kV，High image resolution）；

（4）通过选配EDS可进行元素成份分析（EDS is optional, for component analysis）；

（5）Tilt（0~90）载物台配置（可选择）（Tilt Stage configuration( optional)）。

产品特性：

（1）台式扫描电子显微镜，体型小巧，占用空间小；

（2）强大的软件功能，单窗口操作界面，让用户操作方便简单；

（3）软件实现检测图形实时存储；

（4）扫描电子显微镜产品结构设计简洁，易于维护及保养；

（5）自动平台采用中心定位模式,迅速定位待测样品。

技术参数：

分辨率	15nm (30kV, SE Image)
分辨率	20nm (30kV, BSE Image)
放大倍率	30~60,000 X
加速电压	5kV to 30kV (5kV/10 kV /15kV/20kV/30 kV -5step)
图像检测	二次电子图像-(SE)-Secondary Electron Image
	背散射电子图像(BSE)-Backscattered Electron Image
	* Multi Detector (SE+BSE)
观察模式	Standard Mode
观察模式	Charge-up reduction mode
电子枪系统
灯丝类型	预对中钨灯丝
偏压系统	自动偏压方式
电子枪校正	手动方式
透镜构成
聚光镜	2段式磁线圈透镜
物镜	1段式磁线圈透镜
探测器类型	SE Detector/ BSE Detector
载物台系统	自动或者手动
载物台移动	3轴（X，Y，R）或5轴（X，Y，R，Z，T）
图像偏移	Image shift X, Y Image Shift (±150μm)
样品尺寸	高度40mm时直径70mm
图像扫描	快速扫描: 320x240 (Scan time: 0.1 sec.)
	低速扫描 : 640x480 (Scan time: 3 sec.)
	图片模式1: 1280x960 (Scan time: 30sec.)
	图片模式2: 2560x1920 (Scan time: 60sec.)
	图片模式3: 5120x3840 (Scan time: 120sec.)
自动功能	自动启动，自动聚焦，自动亮度对比度调节
图像存储格式	BMP, JPEG, PNG,TIFF
数据显示	放大倍率，探测器类型，电压，真空模式，Logo(Text)，Date and time，Text marker，比例尺等
真空系统	高真空模式（旋转式机械泵）Rotary Pump/100Liters/min （涡轮式分子泵）Turbo Molecular Pump/ 70Liters/sec 抽真空时间：3分钟以内
操控系统	鼠标和键盘
操控系统	PC：台式电脑（Desk Top）
软件	图像文件打开，编辑，存储功能长度，面积，角度等测量功能,设置数初始化，图像拍摄模式转换，Archives, Setting(EDS)模式等
体积	设备主机-410(W)×660(D)×600(H)mm 外置真空泵-400(W)×160(D)×340(H)mm
重量	95kg
设备环境	温度：15℃~30℃ 湿度：70% or less 电源：Single phase 100~240V AC, 1kW, 50/60Hz

核心参数

电子枪: 钨灯丝

产品优势

SS-60系列台式扫描电镜具有体型小巧,占用空间小；
放大倍率30 ~60,000 X，15nm分辨率；
采用二次电子和背散电子双重探测器；
SS-60扫描电镜具有强大软件功能,操作简单,易于维护；
国产扫描电镜，良好售后服务系统。