深圳市科时达电子科技有限公司
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SS-60系列扫描电子显微镜

产品说明:

 

(1)放大倍率6万倍(Magnification Max 60,000 X);

(2)采用二次电子和背散射电子双重探测器(Signal Detection: SE Detector+BSE Detector);

(3)5kV~30kV加速电压选择,图像分辨率高(Accelerating Voltage:1kV to 30kV,High image resolution);

(4)通过选配EDS可进行元素成份分析(EDS is optional, for component analysis);

(5)Tilt(0~90)载物台配置(可选择)(Tilt Stage configuration( optional))。

 

 

产品特性:

(1)台式扫描电子显微镜,体型小巧,占用空间小;

(2)强大的软件功能,单窗口操作界面,让用户操作方便简单;

(3)软件实现检测图形实时存储;

(4)扫描电子显微镜产品结构设计简洁,易于维护及保养;

(5)自动平台采用中心定位模式,迅速定位待测样品。

 

 技术参数:

 

分辨率 

15nm (30kV, SE Image)

20nm (30kV, BSE Image)

放大倍率

30~60,000 X

加速电压

5kV to 30kV (5kV/10 kV /15kV/20kV/30 kV -5step)

图像检测

二次电子图像-(SE)-Secondary Electron Image

背散射电子图像(BSE)-Backscattered Electron Image

* Multi Detector (SE+BSE)

观察模式

Standard Mode

Charge-up reduction mode

电子枪系统

灯丝类型

预对中钨灯丝

偏压系统

自动偏压方式

电子枪校正

手动方式

透镜构成

聚光镜

2段式磁线圈透镜

物镜

1段式磁线圈透镜

探测器类型

SE Detector/ BSE Detector

载物台系统

 自动或者手动

载物台移动

3轴(X,Y,R)或5轴(X,Y,R,Z,T)

图像偏移

Image shift X, Y Image Shift (±150μm)

样品尺寸

高度40mm时直径70mm

图像扫描

快速扫描: 320x240 (Scan time: 0.1 sec.)

低速扫描 : 640x480 (Scan time: 3 sec.)

图片模式1: 1280x960 (Scan time: 30sec.)

图片模式2: 2560x1920 (Scan time: 60sec.)

图片模式3: 5120x3840 (Scan time: 120sec.)

自动功能

自动启动,自动聚焦,自动亮度对比度调节

图像存储格式

BMP, JPEG, PNG,TIFF

数据显示

放大倍率,探测器类型,电压,真空模式,Logo(Text),Date and time,Text marker,比例尺等

真空系统

 高真空模式

(旋转式机械泵)Rotary Pump/100Liters/min

(涡轮式分子泵)Turbo Molecular Pump/ 70Liters/sec

 抽真空时间:3分钟以内

操控系统

 鼠标和键盘

PC:台式电脑(Desk Top)      

软件

 图像文件打开,编辑,存储功能长度,面积,角度等测量功能,设置数初始化,图像拍摄模式转换,Archives, Setting(EDS)模式等

体积

设备主机-410(W)×660(D)×600(H)mm
外置真空泵-400(W)×160(D)×340(H)mm 

重量

 95kg

设备环境 

 温度:15℃~30℃
   湿度:70% or less

  电源:Single phase 100~240V AC, 1kW, 50/60Hz



电子枪: 钨灯丝
SS-60系列台式扫描电镜具有体型小巧,占用空间小;
放大倍率30 ~60,000 X,15nm分辨率;
采用二次电子和背散电子双重探测器;
SS-60扫描电镜具有强大软件功能,操作简单,易于维护;
国产扫描电镜,良好售后服务系统。
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