纳米探针台

纳米探测面临的挑战

· 定位精度

· 安全（软）着陆接触

· 具有适当尖端半径的可靠探针头

· 清洁环境：试验箱、样品、探针头

· 振动敏感性低

· 噪声抑制

· 漂移补偿

· 电路编辑/延迟：在FIB角度操作

优势

电流成像

·   快速图像采集（每帧约5）

·   不需要更容易控制的反馈

·   原位应用，扫描电镜可以用来确定投资回报率

·   与标准钨探针头配合使用

·   picoamp分辨率，识别泄漏

·   污染物清除

恰当的高探测工具

·    适应您对工作流程的快速理解

·    相关的光镜和电子显微镜，EBIC/EBAC，电流成像-获得整个图像

·     快速发现故障（开路、短路、连接泄漏、晶体管故障等）