深圳市科时达电子科技有限公司
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Nikon 一号线步进器NSR-SF 155

分辨力≦280 nm
纳0.62
曝光光源I-线(365 nm波长)
还原比1:4
曝光场26毫米×33毫米
叠置≦25 nm
吞吐量≧200晶片/小时(300毫米晶片，76发片)，与200毫米晶片兼容



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