美国 那诺-马斯特 NRE-3500 (A) 全自动RIE反应离子刻蚀机

NRE-3500（A）全自动RIE反应离子刻蚀机是基于PC控制的全自动系统.系统真空压力及DC直流偏压将以图形格式实时显示,流量及功率则以数字形式实时显示.系统提供密码保护的四级访问功能:操作员级、工程师级、工艺人员级,以及维护人员级.允许半自动模式(工程师模式)、写程序模式(工艺模式), 和全自动执行程序模式(操作模式)运行系统。基于全自动的控制，该系统具有高度的可重复性。

NRE-3500（A）全自动RIE反应离子刻蚀机产品特点：

• 铝质腔体或不锈钢腔体

• 不锈钢立柜

• 能够刻蚀硅的化合物(~400? /min)以及金属

• 典型的硅刻蚀速率，400 ?/min

• 高达12"的阳极氧化铝RF样品台

• 水冷及加热的RF样品台

• 大的自偏压

• 淋浴头气流分布

• 极限真空5x10-7Torr，20分钟内可以达到10-6Torr级别

• 涡轮分子泵

• 最多支持5个MFC

• 无绕曲气体管路

• 自动下游压力控制

• 双刻蚀能力：RIE以及PE刻蚀(可选)

• 终点监测

• 气动升降顶盖

• 自动上下载片

• 预真空锁

• 基于LabView软件的PC计算机全自动控制

• 菜单驱动，4级密码访问保护

• 完全的安全联锁

• 可选ICP离子源以及低温冷却样品台，用于深硅刻蚀

NRE-3500（A）全自动RIE反应离子刻蚀机产品型号：

• NRE-4000：基于PC计算机全自动控制的独立式系统，占地面积26“D x 44"W

• NRE-3500：基于PC计算机全自动控制的紧凑型独立式系统，占地面积26“D x 26"W

• NRE-3000：基于PC计算机全自动控制的台式系统，占地面积26“D x 26"W

• NRP-4000：RIE/PECVD双系统

• NDR-4000：深RIE刻蚀(深硅刻蚀)系统