上海波铭科学仪器有限公司
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UST 系列超高精密电动平移台

UST 系列是一款超高精密电动平移台,该系列产品传动机构采用进口 C3 级滚珠丝杠,主体材料采用优质铝合金,底座和导轨安装面经过精密磨削工艺和三次时效处理,配合进口交叉滚柱导轨、高品质联轴器、三相步进电机等部件,保证该系列产品具有很高的运动精度和定位精度。该系列产品内置进口光栅尺,配合 GMC-USB 系列控制器,可实现全闭环反馈控制,闭环分辨率可达0.1μm。该系列产品行程有50mm、100mm、200mm 三种,可单独使用,也可组维使用,该系列产品适合超精密激光微加工、超精密扫描定位、飞秒延迟线等应用。

型号 UST50X-S357 UST100X-S357 UST200X-S357
行程 (mm) 50 100 200
台面尺寸 (mm) 245×180 295×180 400×180
传动机构 进口 C3 级滚珠丝杠
导向机构 进口交叉滚柱导轨
主体材料及表面处理 铝合金,黑色阳极氧化
闭环分辨率 (μm) 0.1
重复定位精度 (μm) ≤ ±1
回程间隙 (μm) ≤1
直线度 (μm/100mm) ≤5 ≤6 ≤ 10
平直度 (μm/100mm) ≤5 ≤6 ≤ 10
ZD速度 (mm/s) 40
水平负载 (Kg) 30
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