UST 系列是一款超高精密电动平移台,该系列产品传动机构采用进口 C3 级滚珠丝杠,主体材料采用优质铝合金,底座和导轨安装面经过精密磨削工艺和三次时效处理,配合进口交叉滚柱导轨、高品质联轴器、三相步进电机等部件,保证该系列产品具有很高的运动精度和定位精度。该系列产品内置进口光栅尺,配合 GMC-USB 系列控制器,可实现全闭环反馈控制,闭环分辨率可达0.1μm。该系列产品行程有50mm、100mm、200mm 三种,可单独使用,也可组维使用,该系列产品适合超精密激光微加工、超精密扫描定位、飞秒延迟线等应用。
型号 | UST50X-S357 | UST100X-S357 | UST200X-S357 |
行程 (mm) | 50 | 100 | 200 |
台面尺寸 (mm) | 245×180 | 295×180 | 400×180 |
传动机构 | 进口 C3 级滚珠丝杠 | ||
导向机构 | 进口交叉滚柱导轨 | ||
主体材料及表面处理 | 铝合金,黑色阳极氧化 | ||
闭环分辨率 (μm) | 0.1 | ||
重复定位精度 (μm) | ≤ ±1 | ||
回程间隙 (μm) | ≤1 | ||
直线度 (μm/100mm) | ≤5 | ≤6 | ≤ 10 |
平直度 (μm/100mm) | ≤5 | ≤6 | ≤ 10 |
ZD速度 (mm/s) | 40 | ||
水平负载 (Kg) | 30 |