上海波铭科学仪器有限公司
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BM600G-4P探针显微冷热台

主要参数

  • 温度范围 -190℃℃~600℃；加热区:φ30mm
  • 探针行程13mm；探针位移精度 1um；探针针尖直径(默认)100um
  • 物镜工作距离15mm；通光孔直径:2mm；观察窗:φ40mm
  • ZD升温速率150°C/min；最慢升温速率0.1°C/min；温控精度 :0.1℃
  • 支持反射/透射模式支持改动和定制上位机软件控制
BM600G-4P探针冷热台是一款针对半导体芯片研发，测试而专门设计的产品。热台拥有高精度的探针位移平台。

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